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  • 产品名称:立式球面激光干涉仪VT1200

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  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
产品性能特点: -面形测量PV,RMS,IRR,POWER,1/20精度 -曲率半径测量功能,1um精度 -曲率半径条件下测量光圈N,输入到数控抛光机中修光圈,省去光学样板成本 -提高4英寸干涉仪60%覆盖范围 -高效,气浮移动载物台,微调器,减少预调时间,半径相同镜片可连续测量 -高安全性,气浮无摩擦移动,不掉落样品,配重平衡系统,载物台无倾斜移动 -高稳定性,气浮隔振,导轨+气浮台+干涉仪集成一体防震设计,可在车间内震动环境下依然保持高测量精度 -软件中输入被测样品曲率,口径,自动推荐*合适的标准镜 -设备耐用,非接触测量,无损耗 -提供适合车间使用的标准镜更换夹具 -高速条纹分析软件,自动判别合格品,质量趋势统计,合适车间使用 -可升级客户已有ZYGO干涉仪
详情介绍:

产品性能特点:

-面形测量PV,RMS,IRR,POWER,1/20精度

-曲率半径测量功能,1um精度

-曲率半径条件下测量光圈N,输入到数控抛光机中修光圈,省去光学样板成本

-提高4英寸干涉仪60%覆盖范围

-高效,气浮移动载物台,微调器,减少预调时间,半径相同镜片可连续测量

-高安全性,气浮无摩擦移动,不掉落样品,配重平衡系统,载物台无倾斜移动

-高稳定性,气浮隔振,导轨+气浮台+干涉仪集成一体防震设计,可在车间内震动环境下依然保持高测量精度

-软件中输入被测样品曲率,口径,自动推荐*合适的标准镜

-设备耐用,非接触测量,无损耗

-提供适合车间使用的标准镜更换夹具

-高速条纹分析软件,自动判别合格品,质量趋势统计,合适车间使用

-可升级客户已有ZYGO干涉仪

工作范围

*小1200mm行程,(1400mm线性量尺),150mm测量口径(取决于使用的TS)千分微调器,可容易并精密的找到猫眼和球心位置

干涉仪主机

_4英寸菲索干涉仪主机,6倍光学变焦,静态条纹分析系统

_6英寸菲索干涉仪主机,6倍光学变焦,相移条纹分析系统,压电移相器
_
球面干涉仪测量工作站(不含干涉仪主机),集成客户已有干涉仪,

测量系统

优良测量(线性量尺),数显单元,附加SPM-plus小曲率测量附件(可选)或 激光测距系统

测量精度

 +/- 1μ

设备尺寸

800 x 900 x 2400 mm,平板电脑或PC

重量

600 kg

安装条件

110-240 V / 50-60 Hz,压缩空气6bar

颜色

浅灰色